Équipement horizontal de revêtement par déposition chimique en phase vapeur à basse pression LPCVD

Équipement de diffusion horizontale du bore à basse pression

Équipement de diffusion horizontale de phosphore à basse pression

Équipement d'oxydation/de recuit

Machine automatisée de chargement et de déchargement de diffusion du bore / diffusion du phosphore / oxydation / LP

Machine de chargement et de déchargement automatique en PE

Machine de chargement et de déchargement pour la texturation

Machine automatisée de chargement et de déchargement conjointement en chaîne et en auge

Équipement de déposition chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)