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图1，IMEC现场演示文稿截图

图4，（a）是3D概念图，（b）SAC和COAG之后形成的具有Air gap 的FinFET TEM图。

图5，后Air Gap Spacer 工艺流程图，由编者摘自对应演示文稿

以下是对应演示文稿